基于陶瓷、太阳能薄膜、贵重金属等材料超快激光表面加工工艺验证，平台采用六轴控制，德国进口激光器与3D振镜配合加工。
设备主参：激光器功率20W，直线轴行程（X/Y/Z）±50mm/±50mm/60mm，重复定位精度±5μm，绝对精度±10μm，工作台面200mmX200mm ，最大承载≤3kg。
光学加工参数：线性度99.9%，标记速度6000mm/s ，定位速度12000mm/s， 重复定位精度＜8μRad，增益误差＜5μRad，幅面100mmx100mm,聚焦光斑最小可达41μm。
基于陶瓷、太阳能薄膜、贵重金属等材料超快激光表面加工工艺验证，平台采用六轴控制，德国进口激光器与3D振镜配合加工。
设备主参：激光器功率20W，直线轴行程（X/Y/Z）±50mm/±50mm/60mm，重复定位精度±5μm，绝对精度±10μm，工作台面200mmX200mm ，最大承载≤3kg。
光学加工参数：线性度99.9%，标记速度6000mm/s ，定位速度12000mm/s， 重复定位精度＜8μRad，增益误差＜5μRad，幅面100mmx100mm,聚焦光斑最小可达41μm。
